25일 카나투에 따르면 에프에스티는 최근 카나투에 CNT100 SEMI 리액터를 추가 발주했다. 지난 3월 장납기 품목에 이은 후속 주문이다. 에프에스티는 리액터 본체 발주에 앞서 설계·제작과 조달에 시간이 오래 걸리는 핵심 부품을 선발주했다. 장비는 2027년 인도된다.
장납기 품목과 리액터 본체를 합친 계약 규모는 500만유로(약 80억원) 이상이다. 향후 카나투가 받을 로열티와 소모품 등 반복 매출은 포함되지 않았다.
카나투는 지난 2024년 9월 에프에스티에 CNT100 SEMI 리액터와 후처리 장비를 출하한 바 있다. 에프에스티 사업장에 설치해 장비 성능과 제품 품질을 검증하고 지난해 7월 현장검수(SAT)를 통과했다. 같은 해 10월 카나투가 에프에스티에 상업 생산 라이선스를 부여하며 로열티 지급 생산 체계를 구축했다.
CNT100 SEMI 리액터는 EUV 펠리클에 적용되는 CNT 멤브레인을 생산하는 장비다. 카나투의 부유촉매 화학기상증착(FC-CVD) 기술로 CNT를 합성해 거미줄처럼 얽힌 그물망 구조의 초박막 멤브레인을 형성한다. 생산된 CNT 멤브레인은 후처리와 코팅 등을 거쳐 EUV 펠리클로 완성된다.
출처 : 디일렉(THE ELEC)(https://www.thelec.kr)
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