1. 기술별 매출 비중
ASML은 2026년 1분기 매출에서 메모리 관련 최종 사용 시스템 비중이 51%를 기록했다. EUV 기술이 매출의 66%를 차지했다.
2. 지역별 매출 비중
Q1 2026 지역별 매출 비중은 한국 반도체 공장이 45%로 1위, 대만이 23%, 중국이 19%, 미국이 12%를 차지했다. ASML은 Samsung, TSMC, SMIC, Intel 등에 EUV/DUV 시스템 대부분을 공급 중이다. 중국에는 고급 EUV 리소그래피 도구 판매가 제한되며, 미국 입법자들은 DUV 기술 수출 금지를 추진하고 있다.
3. HBM 제조 의존도
SK Hynix, Samsung, Micron은 HBM3E, HBM4, HBM4E 제조에 EUV 기술을 사용하고 있다.
4. 신규 장비 및 로드맵
ASML은 NXE:3800E PEP-E 머신을 출시했으며, 웨이퍼 출력을 220 WpH에서 230 WpH로 높였다. Low NA EUV 머신은 최소 330 WpH 출력을 목표로 하며, 2030년 초까지 칩 출력을 50% 증대할 계획이다. EXE:5200D High-NA EUV 시스템은 175 WpH 출력을 목표로 하며, sub-2 nm급 칩(A14 이상) 제조에 활용될 예정이다. ASML은 머신 내 광원 출력을 66% 증가시키는 것을 목표로 하고 있으며, 1,000와트 광원 데모에 성공했다.
ASML의 Q1 2026 매출에서 메모리 시스템 비중이 51%를 차지하며 로직을 처음으로 추월했다. EUV 기술 비중은 66%로 유지됐다.
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